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東莞市曙光精密機(jī)械有限公司
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首先我們來(lái)了解一下晶棒是什么？
晶棒是做芯片的原料，有4吋（直徑10厘米） 8吋（直徑20厘米） 12吋（直徑30厘米）三種。12吋晶棒就是一根30厘米的圓柱體，這個(gè)圓柱體里面是純凈的硅。半導(dǎo)體集成電路主要的原料是硅。而這一切看起來(lái)高科技且高含量的半導(dǎo)體基礎(chǔ)的材料則來(lái)源于沙子的提煉。如何從沙石中提煉出純硅？
將沙石原料放入高溫2000℃且有碳源存在的熔爐中，此時(shí)高溫下的沙石會(huì)釋放二氧化硅，與碳進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，剩下硅，得到純度為98%的純硅，這對(duì)微電子器來(lái)說不夠純，因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對(duì)雜質(zhì)的濃度非常敏感。因此需要對(duì)提煉出來(lái)的硅進(jìn)一步提純；將粉碎的冶金級(jí)硅與氣態(tài)的氯化氫進(jìn)行氯化反應(yīng)，生成液態(tài)的硅烷，然后通過蒸餾和化學(xué)還原工藝，得到了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.999999999%，成為電子級(jí)硅。接下來(lái)是單晶硅生長(zhǎng)，常用的方法叫直拉法。高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400 ℃，爐中的空氣通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時(shí)又不會(huì)產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng)。為了形成單晶硅，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn)，把一顆籽晶浸入其中，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn)，同時(shí)慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會(huì)粘在籽晶的底端，按籽晶晶格排列的方向不斷地生長(zhǎng)上去。因此所生長(zhǎng)的晶體的方向性是由籽晶所決定的，在其被拉出和冷卻后就生長(zhǎng)成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒。用直拉法生長(zhǎng)后，單晶棒將按適當(dāng)?shù)某叽邕M(jìn)行切割，然后進(jìn)行研磨，將凹凸的切痕磨掉，晶棒研磨對(duì)光潔度有一定的要求，這對(duì)機(jī)床也有一定的要求，那么什么機(jī)床會(huì)合適呢？
我們可以選擇臺(tái)灣永常晶棒研磨機(jī)，曙光磨床是永常機(jī)械在華南的代理商，臺(tái)灣進(jìn)口晶棒研磨機(jī)，磨出來(lái)的晶棒光潔度好，精密度高，是晶棒研磨的選擇。
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